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硫粉预热器： |
工作温度：400℃ 最高温度：1200℃ 最快升温速率：≤30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 工作电压：AC220V 额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝 |
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加热区参数：
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额定功率：5kw 最高温度：1200℃ 工作温度：1100℃ 最大升降温速率：≤30℃/min 炉管尺寸：高纯度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100x1650mm (管径可选) 加热区长度：200+200mm 恒温区长度：290mm 控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。 标准配件：石英管1支，莫来石管堵2对，不锈钢法兰1套，硅胶密封圈2套，高温手套1副，坩埚钩1支； 尺寸：约 550×380×600 mm（炉子） 约：1700×380×620 mm（炉子+滑轨） 可选配单温区、双温区、三温区等加热区。 |
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二维材料设备CVD系统