Pfeiffer HiCube RGA 质谱仪--残余气体分析的一体化解决方案
TEL: +86 （021） 5046-3511转106
Fax : +86 （021） 5046-1490
E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn
一体化： 伯东公司代理的德国进口普发新款 Pfeiffer HiCube RGA 真空泵组根据客户的气体分析需求，提供一个简单，直接的解决方案。HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)适用于移动应用，并且提供高分辨率和灵敏度。结合了 PrismaPlus 四级质谱仪和 Hicube 分子泵组的 HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)为广泛的应用提供了可测量和分析的单元。高科技组件内部协调最佳。
集成安全：节流阀允许客户变更进气压力从而调节进样压力（范围：从大气压力到高真空均可）。一个额外工作的全量程真空计通过压力监测保护质谱仪。当压力超过时，这种压力自动监控功能确保灯丝总是被提前充分切断。这使我们的一体化系统不易误操作造成损坏，久而久之节省金钱。
多种连接选择： HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)通用型设计。由于它的数字和模拟输入输出系统以及单元自带的quadera®软件，它可以整合外部信号。同时提供了系统控制和过程监测。软件操作界面友好，接口同时提供测量值以及外部元件信号的整体显示。
优点：
- 从大气压力到高真空均可使用
- 通过压力监测保护灯丝
- 进气系统节流阀
- 高分辨率和灵敏度
- 残余气体分析和氦检漏功能
广泛应用：新款 HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供卓越的多功能性。不论是残余气体的分析，过程监测，氦气检漏或真空工艺连接上的质量控制。客户从 HiCube RGA 得到的是一个完整的准备就绪的研究和发展真空的解决方案，不论是半导体和镀膜工业还是更多更深层的工业应用。
典型应用：
- 残余气体分析
在一个容器内分析残余气体，当达到所需的极限压力或条件要求时，HiCube RGA 质谱仪(残余气体分析仪)提供深入了解剩余物质的组成成分。这可以得出关于物质表面属性，解析行为，纯度和容器的密封性，以及工艺气体组成的结论。它提供给客户关于真空室或真空元件状态的重要信息。
- 泄漏检测
HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)的特点是氦气检漏模式可在软件控制下激活，此功能使得客户在真空系统中更方便找到泄露点。
- 过程监控：
由于测量范围可达到300amu，HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)能够长期清晰的观察到128种选定气体。循环阈值可以分配给选定的气体。如果气体高于或低于要求的极限，控制系统通过数字输出信号可以传递到更高一级。这样就使 HiCube RGA质谱仪可以提供实时的过程监测和控制。
EVN 116 节流阀额外的允许真空系统中的压力可以被改变以适应讨论过程中的需求，并且另外的集成关闭真空阀提供出色的可重复进气口。
- 质量保证和工艺优化：
HiCube RGA质谱仪(残余气体分析仪)能够提供对气体成分的定量测定并且确定工艺气体纯度，以及监测与气体成分有关的真空镀膜工艺的能力，例如：在工艺设计和质量保证上，它被认为是一个重要的仪器。
即使测量正在进行，所有的测量数据均被存储。无需停止测量，数据依然可被跟踪。甚至在一个测量仍在进行时，为进一步的分析，测量结果也可输出。
技术参数：
尺寸及订购货号：
应用实例：
- 厦门某材料公司，用于保温新材料的开发
- 广州某金属研究院，用于储氢材料的分析研究
- 福州某结构所，用于物质热分解成分分析研究
- 珠海某封装基板厂，用于先进镀铜工艺的分析研发
Pfeiffer HiCubeRGA 质谱仪(残余气体分析仪) 安装图例：
|
现场安装完成图 残余气体成分数据采集现场
|
  |
伯东公司 主要经营产品 德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的 真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及美国Brooks CTI Cryopump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.
网站: www.hakuto-vacuum.cnTEL: +86 （021） 5046-3511转106
Fax : +86 （021） 5046-1490
E-mail: ec@hakuto-vacuum.cn
